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型號(hào):PR-3
離子去膠機(jī)

描述:離子去膠機(jī) 型號(hào):PR-3
通過等離子體方法,對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。

  • 廠商性質(zhì)

    其他
  • 更新時(shí)間

    2024-09-25
  • 訪問量

    882
產(chǎn)品分類PRODUCT

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離子去膠機(jī) 型號(hào):PR-3

通過等離子體方法,對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng),主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。  
離子去膠機(jī)射頻電源采用RF500W電源控制。  
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。 
  腔室結(jié)構(gòu):臥式、純石英 
  真空室規(guī)格:F210´300mm 
  限真空:1Pa(環(huán)境濕度≤55%) 
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵 
  大裝片直徑: F4英寸 
   大裝片容量:4英寸 25片/爐 
  去膠速率: ~500A/min 
  去膠不均勻性:≤±5% (φ4吋范圍內(nèi)) 
  操作方式:手動(dòng)方式 
用戶可選配全自動(dòng)控制方式

 

 

 

產(chǎn)品名稱:標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī) 臺(tái)式勻膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):SC-1B

標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)  臺(tái)式勻膠機(jī) 型號(hào):SC-1B

SC-1B標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。  
    采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與時(shí)間,有效控制膠的厚度、均一性。可應(yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。 
主 要 技 術(shù) 指 標(biāo)1. 控制顯示:LED數(shù)字控制器,用戶可通過控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置 
2. 勻膠模式:可同時(shí)輸入七組數(shù)值,即轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔,轉(zhuǎn)速啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(Ⅰ檔),然后自動(dòng)執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔,直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。 
3.勻膠時(shí)間:1~9999s任意時(shí)間可設(shè)置 
4.勻膠速度:0~8000rmp可調(diào) 
5.旋轉(zhuǎn)加速度:0~8000rpm/sec 由低速到高速加速時(shí)間0.1s~0.5s 
6.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp 
7.涂膠均勻性:±3% 
8.可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞) 
9.基片厚度:  ≤5mm 
 配 置 參 數(shù)1.設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置 
2.電機(jī)功率:90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp 
3.真空泵:FY-1C旋片式真空泵,抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵) 
4.樣片托:標(biāo)配1英寸一個(gè),2英寸一個(gè),其它規(guī)格按要求定制 
5.輸入電源: AC220V/240V  50HZ 
6.整機(jī)功率:100W 
7.機(jī)身尺寸: 280×360×240mm 
8.機(jī)身重量:10Kg

 

 

 

產(chǎn)品名稱:自動(dòng)運(yùn)動(dòng)粘度毛細(xì)管清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):DSL-265H 

自動(dòng)運(yùn)動(dòng)粘度毛細(xì)管清洗機(jī) 型號(hào): DSL-265H      
GB 265、ASTM D445   
  
產(chǎn)品簡介  
主要技術(shù)參數(shù)及指標(biāo)  
自動(dòng)運(yùn)動(dòng)粘度毛細(xì)管清洗機(jī)適用于自動(dòng)清洗毛細(xì)管粘度  
計(jì)。該儀器使用方式快捷、簡便、易操作。  
設(shè)定恒溫水浴所需清洗溫度,毛細(xì)管內(nèi)殘液在高溫水浴  
內(nèi)流動(dòng)性增加。開啟真空泵,洗液瓶內(nèi)清洗液在真空泵作用  
下沖洗毛細(xì)管內(nèi)殘液,將粘度計(jì)內(nèi)殘液排出、以達(dá)到清洗毛  
細(xì)管的目的。清洗干凈以后,毛細(xì)管粘度計(jì)在高溫恒溫水浴  
內(nèi)自動(dòng)通風(fēng)干燥。  
性能特點(diǎn) 
  
l 儀器配備7寸高分辨率液晶觸摸顯示屏、觸摸屏按鍵控制。  
l 全中文人機(jī)操作界面、漢字顯示,并配有提示框。實(shí)時(shí)顯示儀器所處的輸入輸出狀態(tài),操  
作員可以隨時(shí)了解儀器執(zhí)行的動(dòng)作及所處狀態(tài),直觀易操作。  
l 儀器采用方形不銹鋼浴槽,前置觀察玻璃窗,可隨時(shí)觀察粘度管的清潔度。  
l 恒溫浴自動(dòng)升溫、控溫,恒溫浴攪拌均勻,溫度波動(dòng)小。  
l 儀器配備雙洗液瓶及一個(gè)廢液瓶。廢液瓶充滿時(shí),自動(dòng)報(bào)警提示。  
l 可根據(jù)清洗難易程度,設(shè)定所需的粘度計(jì)恒溫、清洗及干燥時(shí)間。清洗烘干結(jié)束后,報(bào)警提示。 
 1. 工作電源:AC220V、50Hz  
2. 顯示方式:7寸高分辨率液晶觸摸顯示屏  
3. 清洗浴孔:6孔式,清洗粘度計(jì)支數(shù):6支  
4. 清洗粘度計(jì)類型:品氏或其他類型  
5. 恒溫浴及烘干溫度范圍:室溫~+90℃,任意設(shè)定  
6. 恒溫浴控溫精度:±0.5℃  
7. 洗液瓶:2個(gè),雙洗液  
8. 廢液瓶:1個(gè),配液位報(bào)警功能  
9. 預(yù)熱、抽吸、清洗、烘干時(shí)間可調(diào)  
10. 抽吸泵:≥2升/分鐘真空泵 

 

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