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型號:SYSC-100A
高精度程控勻膠機

描述:高精度程控勻膠機型號:SYSC-100A
一. 產品應用
又稱為旋轉涂膜儀,是一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。

  • 廠商性質

    其他
  • 更新時間

    2024-09-25
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    647
產品分類PRODUCT

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高精度程控勻膠機型號:SYSC-100A 
一.    產品應用 
SYSC-100A高精度程控勻膠機(Spin Coater),又稱為旋轉涂膜儀,是一代旋轉涂膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。 
二.    產品特點 
1.     旋轉電機采用專為勻膠機設計的精密高速伺服電機。 
2.     優異的旋轉加速性能,Z大旋轉加速度可達40000rpm/s(有負載的真實加速度)。 
3.     兩項安全互鎖功能: 
 (1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能,確保腔體關閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造**身傷害; 
 (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。 
4.     機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。 
5.     勻膠腔體采用德國勞士領NPP材料,經CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。 
6.     旋轉吸片臺采用德國勞士領PEEK材料,經CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。 
7.     勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程Z多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。可儲存50組工藝程序,隨時調用。 
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態及各項參數實時顯示,更直觀了解勻膠進程; 
9.     真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制,無需手動操作。 
10.   旋轉前增加預吸片步驟,“預吸片時間”Z多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間”Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。 
11.   標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺,防止飛片。 
三.    技術參數 
產品型號SYSC-100A 
可鍍膜基片尺寸Ø10~100mm 
旋轉速度10~8000rpm 
轉速分辨率1rpm 
速度精度<0.02% 
旋涂加速度*0~40000rpm/s 
每段加速時間999.9s 
每段旋涂時間9999.9s 
時間分辨率0.1s 
預吸片時間99s 
解吸片時間99s 

**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實加速度.

 

 

 

產品名稱:全自動比熱容測試儀
產品型號:BRR-3C

全自動比熱容測試儀 型號:BRR-3C

   BRR-3全自動比熱容測試儀用于室溫—100℃ 溫度下比熱容高準確性測量,符合GJB 330A-2000標準要求。此類儀器全部測量和控制均采用計算機控制,減少人為誤差,提高了測試精度。

主要技術參數:

1、比熱容范圍: 0.05-5(kj/kg*k)  

2、測試精確度:  固體≤2%±0.008;粉體、液體≤3%±0.008  

3、測試溫度范圍:  室溫—100℃  

4、試樣要求: 固體樣品尺寸,φ20*80(mm);粉體、液體樣品量,約25(cm3)。  

5、量熱分辨率: 0.001℃  

6、量熱器: 量熱電源:電壓0-24V,分辨率1mV;電流0-1A,分辨率 0.01mA。  

7、氣氛環境: 常壓  

8、實驗方法:絕熱法  

9、電源:220V/50Hz,功耗小于1KW  

10、測控方式 計算機全自動測試,數據處理,并可生成檢測報告打印輸出。

儀器配置:含BRR-3C常溫比熱容測試儀主機壹臺,軟件壹套,通訊接口及數據線壹套,高精度恒溫水槽壹臺,需方自備電腦。

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