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?高精度程控勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)

發(fā)表時(shí)間:2021/12/30  |  點(diǎn)擊率:381

精度程控勻膠機(jī)型號(hào):SYSC-100A
一.    產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二.    產(chǎn)品特點(diǎn)
1.     旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密速伺服電機(jī)。
2.     優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。
3.     兩項(xiàng)安全互鎖功能:
 (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過程中飛片造**身傷害;
 (2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。
4.     機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。
5.     勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6.     旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐溫、耐腐蝕、不變形。
7.     勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程Z多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛?chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;
9.     真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無需手動(dòng)操作。
10.   旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時(shí)間"Z多為99s,確?;喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時(shí)間"Z多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。
11.   標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。
三.    技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸?10~100mm
旋轉(zhuǎn)速度10~8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度<0.02%
旋涂加速度*0~40000rpm/s
每段加速時(shí)間999.9s
每段旋涂時(shí)間9999.9s
時(shí)間分辨率0.1s
預(yù)吸片時(shí)間99s
解吸片時(shí)間99s

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實(shí)加速度.

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