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產品型號:KWD 臺式勻膠機

更新時間:2015-05-27  |  點擊率:1415

臺式勻膠機型號:KWD

臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。 

技術參數:旋轉速度:200-2000rpm,精度:±0.5%
勻膠時間:3-60s可調
基材尺寸:Φ200-Φ600 200mm×200mm~500×500mm
適用材料: 硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP等多種材料

電機功率:320w
LED數字顯示:轉速穩定度:±0.5%,膠的均勻性:±5%
zui大加速度:zui高加速度:≥500rpm/sec
儀器尺寸:980mm×855mm×855mm

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