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高精密勻膠機 SC100-SE

更新時間:2019-03-27  |  點擊率:979

高精密勻膠機 型號:SC100-SE
  SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。 

  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業級別200瓦伺服電機系統,采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中的大達到50000RPM/S的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和高的可重復性。 

主要性能指標:  
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)   
旋涂程序:多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒   
轉動速度:0-10,000rpm(更高速可選)   
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)   
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm   
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm   
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)   
旋涂作業均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)  


產品特性優點:  
內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。   
7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。   
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。   
標準配置轉速10000rpm,并可根據用戶需要進行定制。  
采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。   
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。   
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。   
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。  


產品外型尺寸:  
     433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構  
    306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構 

 

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