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分體式勻膠機

更新時間:2018-05-29  |  點擊率:655

分體式勻膠機 型號:SC100-SR
  SC100-SR精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。 
  SC100-SR是一種主機和觸摸屏分開的分體式勻膠機,主機被設計為更小安裝尺寸或臺面嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與手套箱配套進行嵌入式安裝,控制盒放置在臺面上方便移動。 

主要性能指標: 
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)  
旋涂程序:zui多可存100組程序,每組100步,每個步驟可到0.1秒  
轉動速度:0-10,000rpm(更高速可選)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm  
工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)  
旋涂作業均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量) 
產品特性優點: 
的內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。  
可進行嵌入式安裝,降低操作高度。  

7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。  
on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。  
標準配置轉速10000rpm,并可根據用戶需要進行定制。  
采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。  
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。  
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。  
透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發。

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